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“卡脖子”有解!清华团队发表光刻机科研成果

清华大学与国外研究团队在“自然”发表科研成果,该成果未来有望应用于EUV(极紫外光源)光刻和角分辨光电子能谱学等领域。清华大学工程物理系教授唐传祥表示,这一发现有望解决自主研发光刻机中最核心的“卡脖子”难题。目前研究组已向国家发改委提交项目建议书,申报“十四五”国家重大科技基础设施。文汇报

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